Secondary ion mass spectrometry of organic thin films using metal-cluster-complex ion source

被引：0

作者：

Fujiwara, Yukio ^{[1
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Kondou, Kouji ^{[1
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Nonaka, Hidehiko ^{[1
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Saito, Naoaki ^{[1
]}

Itoh, Hiroshi ^{[1
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Fujimoto, Toshiyuki ^{[1
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Kurokawa, Akira ^{[1
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Ichimura, Shingo ^{[1
]}

Tomita, Mitsuhiro ^{[2
]}

机构：

[1] National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 2, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8568, Japan

[2] Corporate Research and Development Center, Toshiba Corporation, 8 Shinsugita-cho, Isogo-ku, Yokohama 235-8522, Japan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 2: Letters | 2006年 / 45卷 / 33-36期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Journal article (JA)

引用