Reflectance thermometry for microscale metal thin films

被引：0

作者：

Shimizu, Yukiko ^{[1
]}

Ishii, Juntaro ^{[1
]}

Baba, Tetsuya ^{[1
]}

机构：

[1] National Metrology Institute of Japan (NMIJ), National Institute of Advanced Industrial Science and Technology (AIST), Tsukuba Central 3, 1-1-1 Umezono, Tsukuba, Ibaraki 305-8563, Japan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics, Part 1: Regular Papers and Short Notes and Review Papers | 2007年 / 46卷 / 5 A期

关键词：

Thin films;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Journal article (JA)

引用

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