High-performance solid-phase crystallized polycrystalline silicon thin-film transistors with floating-channel structure

被引：0

作者：

Chang, Chia-Wen ^{[1
]}

Deng, Chih-Kang ^{[1
]}

Chang, Che-Lun ^{[1
]}

Liao, Ta-Chuan ^{[1
]}

Lei, Tan-Fu ^{[1
]}

机构：

[1] Institute of Electronics, National Chiao Tung University, Hsinchu 30010, Taiwan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics | 2008年 / 47卷 / 4 PART 2期

关键词：

Channel structures - Crystallization process - Electrical characteristic - Field-effect mobilities - Polycrystalline silicon thin-film transistor - Solid-phase crystallization - Solid-phase-crystallized - Surface nucleation;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：3024 / 3027