Nanocrystalline diamond films deposited by electron assisted hot filament chemical vapor deposition

被引:0
作者
School of Materials Science and Engineering, Shanghai University, Shanghai 200072, China [1 ]
不详 [2 ]
机构
来源
J Rare Earth | 2006年 / SUPPL.卷 / 107-110期
关键词
4;
D O I
暂无
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