P-190L: Late-news poster: Thermal durability of poly-Si films on highly engineered glass for RTA processes enabling advanced TFTs

被引：0

作者：

Itoh, Taketsugu ^{[1
]}

Mugiraneza, Jean D. ^{[2
]}

Miyahira, Tomoyuki ^{[2
]}

Sakamoto, Akinori ^{[2
]}

Chen, Yeh ^{[2
]}

Okada, Tasuya ^{[2
]}

Noguchi, Takashi ^{[2
]}

机构：

[1] Corning Holding Japan G.K, 1-11-44, Akasaka, Minato-ku, Tokyo 107-0052, Japan

[2] University of the Ryukyus, 1 Senbaru, Nishihara town, Okinawa 903-0213, Japan

来源：

48th Annual SID Symposium, Seminar, and Exhibition 2010, Display Week 2010 | 2010年 / 3卷

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Glass

引用

页码：1486 / 1489