Effect of tin on point defects and oxygen precipitation in Czochralski silicon: Experimental and theoretical studies

被引:0
作者
机构
[1] Gao, Chao
[2] Ma, Xiangyang
[3] Zhao, Jianjiang
[4] Yang, Deren
来源
Ma, X. (mxyoung@zju.edu.cn) | 1600年 / American Institute of Physics Inc.卷 / 113期
关键词
Point defects;
D O I
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摘要
Journal article (JA)
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