A novel structure zone model of pure Cr films relating to the magnetron sputtering system

被引：0

作者：

Li, Hong-Tao ^{[1
]}

Jiang, Bai-Ling ^{[1
]}

Yang, Bo ^{[1
]}

Cao, Zheng ^{[1
]}

机构：

[1] School of Materials Science and Engineering, Xi'an University of Technology, Xi'an 710048, China

来源：

Rengong Jingti Xuebao/Journal of Synthetic Crystals | 2011年 / 40卷 / 04期

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Magnetron sputtering

引用

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