Studies of defect detection and thermal influence in semi-insulating 6H-SiC substrates using a long-wavelength infrared thermal imaging camera

被引：0

作者：

Department of Industrial Engineering, Chulachomklao Royal Military Academy, Suwanasorn Rd., Muang, Nakhon-Nayok 26001, Thailand ^{[1
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不详 ^{[2
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机构：

来源：

Appl. Phys. Express | / 8卷

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Defects

引用