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Multiskalige Mess- und Prufstrategien in der Mikro- und Nanomesstechnik
被引：0
作者：
Universität Stuttgart, Germany
[1
]
机构：
来源：
VDI Ber.
|
2006年
/
1950卷
/
141-150期
关键词：
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
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