Factors influcing rarefied gas heat transfer between a wafer and an electrostatic chuck

被引：0

作者：

Sun, Yuchun ^{[1
]}

Cheng, Jia ^{[1
]}

Lu, Yijia ^{[1
]}

Hou, Yuemin ^{[1
]}

Ji, Linhong ^{[1
]}

机构：

[1] State Key Laboratory of Tribology, Department of Mechanical Engineering, Tsinghua University, Beijing,100084, China

来源：

Qinghua Daxue Xuebao/Journal of Tsinghua University | 2015年 / 55卷 / 07期

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Gas temperature

引用

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