Absolute distance measurement by lateral shearing interferometry of point-diffracted spherical waves

被引：0

作者：

Billionth Uncertainty Precision Engineering Group, Korea Advanced Institute of Science and Technology , Science Town, Duejeon, 305-701, Korea, Republic of ^{[1
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机构：

来源：

Opt. Express | 2006年 / 13卷 / 131-137期

关键词：

Distance measurement;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用