Development of two-level porosity during glancing angle deposition

被引：0

作者：

Zhou, C.M. ^{[1
]}

Gall, D. ^{[1
]}

机构：

[1] Department of Materials Science and Engineering, Rensselaer Polytechnic Institute, Troy, NY 12180, United States

来源：

Journal of Applied Physics | 2008年 / 103卷 / 01期

关键词：

66;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Journal article (JA)

引用