High quality factor graphene resonator fabrication using resist shrinkage-induced strain

被引：0

作者：

Department of Mechanical Engineering, University of Tokyo, Bunkyo, Tokyo 113-8656, Japan ^{[1
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不详 ^{[2
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不详 ^{[3
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机构：

来源：

Appl. Phys. Express | / 11卷

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Resonators

引用