[1] Center for Micro- and Nanotechnologies, Technical University Ilmenau, D-98684 Ilmenau, Germany
[2] Departamento de Ciencia de Los Materiales e Ingenieria Metalurgica y Quimica Inorganica, Facultad de Ciencias, Universidad de Cádiz, 11510 Puerto Real, Cádiz, Spain
[3] Center for Micro- and Nanotechnolgies, TU-Ilmenau