Development of pin-type vacuum chuck for advanced polishing (2nd report) - Influence of polishing pad surface morphology to dimpling caused by pin sustainment

被引：0
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作者：
Matsui, Shinsuke
Une, Atsunobu
Kamouchi, Terumasa
机构：
来源：
Seimitsu Kogaku Kaishi/Journal of the Japan Society for Precision Engineering | 2013年 / 79卷 / 12期
关键词：
Polishing;
D O I：
10.2493/jjspe.79.1246
中图分类号：
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摘要：
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页码：1246 / 1250
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