Use of Control Systems in the Correction of Static and Thermal Aberrations

被引：0

作者：

Petrakov, E.V. ^{[1
]}

Chkhalo, N.I. ^{[1
]}

机构：

[1] Institute of Physics of Microstructures, Russian Academy of Sciences, Nizhny Novgorod,603950, Russia

来源：

Journal of Surface Investigation | 2023年 / 17卷 / Suppl 1期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Aberrations - Adaptive control systems - Adaptive optics - Cooling systems - Degrees of freedom (mechanics) - Piezoelectricity - Quadratic programming - Synchrotron radiation - Synchrotrons

引用