Study on glass-ceramic substrates polishing for hard disk drivers

被引：0

作者：

Liu, Xue-Zhang ^{[1
]}

Wang, Bai-Chun ^{[1
]}

Xu, Xiang-Yang ^{[1
]}

Xie, Sheng-Zhong ^{[1
]}

Zhai, Hai-Jun ^{[1
]}

机构：

[1] Changsha Research Institute of Mining and Metallurgy, Changsha 410012, China

来源：

Weixi Jiagong Jishu/Microfabrication Technology | 2008年 / 02期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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