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Aluminum alloy sputtering target for TFT-LCDs
被引：0
作者：
Yoshikawa, Kazuo
Onishi, Takashi
机构：
来源：
R and D: Research and Development Kobe Steel Engineering Reports
|
2002年
/
52卷
/
02期
关键词：
Electronic components - LCD manufacturers - Spray forming - Sputtering target;
D O I：
暂无
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