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Interface of sputter-deposited TiNi thin film on (100) Si wafer
被引:0
作者
:
机构
:
[1]
Wu, S.K.
[2]
Wang, J.Y.
[3]
Wu, I.J.
[4]
Lin, H.C.
来源
:
Wu, S.K.
|
2000年
/ Trans Tech Publ, Uetikon-Zuerich卷
/ 327期
关键词
:
D O I
:
10.4028/www.scientific.net/msf.327-328.127
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
引用
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