Measuring method for topography of DOE based on dual-path two-wavelength phase shifting interferometric microscopy

被引:0
作者
Zhou, Mingbao [1 ]
Lin, Dajian [1 ]
Bai, Linbo [1 ]
机构
[1] Inst of Optics and Electronics, Chinese Acad of Sciences, Chengdu, China
来源
Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica | 2000年 / 20卷 / 06期
关键词
D O I
暂无
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学科分类号
摘要
(Edited Abstract)
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页码:843 / 846
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