Electrical measurements and optical emission spectroscopy of silicon-carbon alloys grown by PACVD: Correlation with film microstructure

被引：0

作者：

Thomas, Laurent ^{[1
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Tomasella, Eric ^{[2
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Badie, J. Marie ^{[3
]}

Berjoan, René ^{[3
]}

Ducarroir, Michel ^{[1
]}

机构：

[1] IMP-CNRS, Tecnosud-Rambla de la Thermodyn., F-66100 Perpignan Cedex, France

[2] LMI-CNRS, Université Blaise Pascal, 24 Av des Landais, F-63177 Aubière Cedex, France

[3] IMP-CNRS, BP 5, F-66120 Font Romeu, France

来源：

关键词：

D O I：

10.1002/adma.200390025

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Silicon alloys

引用

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