Monte Carlo simulation of low energy He+, Ar+, Xe+ bombardment in SiC

被引:0
作者
Jin, Shi-Sheng [1 ]
Zhu, Lin-Shan [1 ]
Gou, Fu-Jun [1 ,2 ]
Xie, Quan [1 ]
机构
[1] Department of Electronic Science and Information Technology, Guizhou University, Guiyang 550025, China
[2] The Leiden Institute of Chemistry, 2300 RA Leiden, Netherlands
来源
Gongneng Cailiao/Journal of Functional Materials | 2007年 / 38卷 / 10期
关键词
D O I
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页码:1590 / 1593
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