Nitridation of Si(100)-(2 × 1) surface by NH3: A quantum chemical cluster model study

被引:0
作者
Xu, Xin [1 ]
Kang, S.-Y. [1 ]
Yamabe, T. [1 ]
机构
[1] Department of Molecular Engineering, Kyoto University, Kyoto 606-8501, Japan
关键词
D O I
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摘要
Quantum theory
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页码:761061 / 761064
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