Suppressing residual vibrations in comb-drive electrostatic actuators: A command shaping technique adapted to nomadic applications

被引：0

作者：

Ameur, Haythem ^{[1
]}

Le Moal, Patrice ^{[1
]}

Bourbon, Gilles ^{[1
]}

Vuillemin, Cedric ^{[2
]}

Sworowski, Marc ^{[2
]}

机构：

[1] Univ. Bourgogne Franche-Comté, FEMTO-ST Institute, CNRS/UFC/ENSMM/UTBM, Department of Applied Mechanics, France

[2] SILMACH SA, Rue Sophie Germain, Besançon,25000, France

来源：

Sensors and Actuators A: Physical | 2022年 / 334卷

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Electrostatic actuators

引用