Sensors and Actuators, A: Physical - Preface

被引：0

作者：

Morante, Joan Ramon

Michel, Bernd

Barbier, Daniel

机构：

[1] EME/CEMIC, Dept. of Electronics Assoc. Univ. to CNM-CSIC, Microlectron. Eng. Ctr., C/Marti i Franques 1, 08028 Barcelona, Spain

[2] Laboratoire Physique de la Matière, Institut National des Sciencies Appliquées, Bâtiment 502, 20 Avenue Albert Einstein, 69621 Villeurbanne Cedex, France

[3] Mechanical Reliability and Micro Materials Department, Fraunhofer Institut Zuverlässigkeit und Mikrointegration, Gustav-Meyer Allée 25, D-13355 Berlin, Germany

[4] Tel.: +34-9-3402-1140, Spain

来源：

Sensors and Actuators, A: Physical | 2002年 / 99卷 / 1-2期

关键词：

D O I：

10.1016/S0924-4247(01)00875-5

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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