3C-SiC heteroepitaxial growth by low pressure chemical vapor deposition on Si(111) substrates

被引:0
作者
Yan, Fei
Zheng, Youdou
Chen, Ping
Sun, Lan
Gu, Shulin
Zhu, Shunming
Li, Xuefei
Han, Ping
机构
来源
Gaojishu Tongxin/High Technology Letters | 2002年 / 12卷 / 11期
关键词
D O I
暂无
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