Characterization of semiconductor materials at sub-micron scale using scanning capacitance microscopy

被引：0

作者：

Uchihashi, Takayuki ^{[1
]}

Ishizuka, Yoshimori ^{[1
]}

Yoshida, Haruhiko ^{[1
]}

Kishino, Seigo ^{[1
]}

机构：

[1] Dept. of Elect., Himeji Inst. of Tech., Shosha, Himeji 671-2201, Japan

来源：

关键词：

Scanning capacitance microscopes;

D O I：

10.2472/jsms.51.995

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：995 / 998