Preparation of hydrogenated diamond-like carbon films using high-density pulsed plasmas of Ar/C2H2 and Ne/C2H2 mixture

被引：0

作者：

Graduate School of Engineering, Nagoya Institute of Technology, Nagoya ^{[1
]}

466-8555, Japan

机构：

来源：

Jpn. J. Appl. Phys. | 1600年 / 7S2卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Chemical vapor deposition - Film preparation - Diamond like carbon films - Hydrogenation - Magnetron sputtering - Mixtures - Carbon films

引用