Investigation of Nitrous Oxide Nitridation Temperatures on P-Type Pi-Gate Poly-Si Junctionless Accumulation Mode TFTs

被引:0
作者
Hsieh, Dong-Ru [1 ]
Lin, Kun-Cheng [1 ]
Chao, Tien-Sheng [1 ]
机构
[1] Department of Electrophysics, National Chiao Tung University, Hsinchu,30010, Taiwan
来源
IEEE Journal of the Electron Devices Society | 2019年 / 7卷
关键词
Compendex;
D O I
8630465
中图分类号
学科分类号
摘要
Timing circuits
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页码:268 / 275
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