Carbon contamination modeling on extreme ultraviolet optic surfaces

被引：0

作者：

Lu, Guoqing ^{[1
,2
]}

Lu, Qipeng ^{[1
]}

Peng, Zhongqi ^{[1
]}

Gong, Xuepeng ^{[1
]}

机构：

[1] State Key Laboratory of Applied Optics, Changchun Institute of Optics, Fine Mechanics and Physics, Chinese Academy of Sciences, Changchun, Jilin 130033, China

[2] University of Chinese Academy of Sciences, Beijing 100049, China

来源：

Guangxue Xuebao/Acta Optica Sinica | 2013年 / 33卷 / 12期

关键词：

27;

D O I：

10.3788/AOS201333.1234001

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用