Highly oriented AlN thin films grown on Si(100) substrates at room temperature by pulsed laser deposition

被引：0

作者：

Physics Department, Qufu Normal University, Qufu 273165, China ^{[1
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不详 ^{[2
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不详 ^{[3
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机构：

来源：

Guangdianzi Jiguang | 2007年 / 10卷 / 1212-1214期

关键词：

Thin films;

D O I：

暂无

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页码：1212 / 1214

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