FIB/SEM serial sectioning as a versatile tool for microstructural analysis

FIB/SEM tomography is a serial sectioning method in which the cross-sectional area of the sample is stepwise removed with a focused ion beam (FIB) and the exposed cross-sectional area is imaged with a scanning electron microscope (SEM). All imaging techniques of the SEM can be used, which allows the application to a wide range of materials science questions. On the one hand, resolutions of a few nm can be achieved, and on the other hand, volumes with edge lengths of 100 mu m and more can be examined. This article gives an overview of the current state of the art and the practical implementation of FIB/ SEM serial sectioning. The special aspects of the integration of energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS) and electron backscatter diffraction (EBSD) are also discussed. Die FIB/REM-Serienschnitttomographie ist ein Serienschnittverfahren, bei der die Querschnittsfl & auml;che der Probe schrittweise mit einem fokussiertem Ionenstrahl (FIB) abgetragen und die freigelegte Querschnittsfl & auml;che mit dem Rasterelektronenmikroskop (REM) abgebildet wird. Es k & ouml;nnen alle Abbildungsverfahren des REM verwendet werden, was die Anwendung in einer Vielzahl von materialwissenschaftlichen Fragestellungen erlaubt. Dabei sind einerseits Aufl & ouml;sungen von wenigen nm erreichbar, andererseits k & ouml;nnen Volumina mit 100 mu m Kantenl & auml;nge und mehr untersucht werden. In diesem Artikel soll ein & Uuml;berblick & uuml;ber den aktuellen Stand der Technik und die praktische Durchf & uuml;hrung einer FIB/REM-Serienschnitttomographie gegeben werden. Auf die Besonderheiten bei der Integration von energiedispersive R & ouml;ntgenspektroskopie (EDX) und Elektronenr & uuml;ckstreubeugung (EBSD - electron backscatter diffraction) wird ebenfalls eingegangen.