Current-induced joule heating used to crystallize silicon thin films

被引:0
作者
Sameshima, Toshiyuki [1 ]
Ozaki, Kentaro [1 ]
机构
[1] Tokyo Univ of Agriculture and, Technology, Tokyo, Japan
来源
| 1600年 / JJAP, Tokyo卷 / 39期
关键词
D O I
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