Modeling and noise analysis of a fence structure micromachined capacitive accelerometer system

被引：0

作者：

Department of Information Science and Electronic Engineering, Zhejiang University, Hangzhou ^{[1
]}

310027, China

不详 ^{[2
]}

100854, China

机构：

来源：

J. Zhejiang Univ. Sci. C | / 12卷 / 1009-1015期

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Fences

引用

页码：1009 / 1015