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Low temperature silicon and silicon germanium doping epitaxy by HV/CVD
被引：0
作者：
机构：
[1] Liu, Z.N.
[2] Jia, H.Y.
[3] Luo, G.L.
[4] Chen, P.Y.
[5] Lin, H.W.
[6] Tsien, P.H.
来源：
Liu, Z.N.
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2001年
/
Science Press卷
/
22期
关键词：
D O I：
暂无
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