Laser interference photolithography for fabricating periodic patterns in large area

被引：0

作者：

Zhang, Jin ^{[1
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Feng, Bo-Ru ^{[1
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Guo, Yong-Kang ^{[1
]}

Jiang, Shi-Lei ^{[1
]}

Zong, De-Rong ^{[1
]}

Du, Jing-Lei ^{[1
]}

Zeng, Yang-Su ^{[1
]}

Gao, Fu-Hua ^{[1
]}

机构：

[1] Dept. of Phys., Sichuan Univ., Chengdu 610064, China

来源：

Guangdian Gongcheng/Opto-Electronic Engineering | 2001年 / 28卷 / 06期

关键词：

Interference photolithography - Large area - Laser interference - Micro electronic devices - Periodic patterns;

D O I：

暂无

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学科分类号：

摘要：

引用

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