Growth and characterization of DC magnetron sputtered GZO:Ti films

被引：0

作者：

Guo, Meixia ^{[1
]}

Li, Jie ^{[1
]}

机构：

[1] School of Science, Shandong University of Technology, Zibo 255049, China

来源：

Zhenkong Kexue yu Jishu Xuebao/Journal of Vacuum Science and Technology | 2012年 / 32卷 / 04期

关键词：

11;

D O I：

10.3969/j.issn.1672-7126.2012.04.11

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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