Development of high precision metal micro-electro-mechanical-systems column for portable surface acoustic wave gas chromatograph

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作者：

Department of Materials Processing, Tohoku University, Sendai 980-8579, Japan ^{[1
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机构：

来源：

Jpn. J. Appl. Phys. | 1600年 / 7 PART2卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Acoustic waves - Fabrication - Separation - MEMS - Acoustic surface wave devices - Chromatography - Ionization of gases - Mechanics

引用