Control of roughness in Mo/Al multilayer film fabricated by DC magnetron sputtering

被引：0

作者：

Nii, Hajime ^{[1
]}

Miyagawa, Makoto ^{[2
]}

Matsuo, Yoshiaki ^{[2
]}

Sugie, Yosohiro ^{[1
]}

Niibe, Masato ^{[1
]}

Kinoshita, Hiroo ^{[2
]}

机构：

[1] Nii, Hajime

[2] Miyagawa, Makoto

[3] Matsuo, Yoshiaki

[4] Sugie, Yosohiro

[5] Niibe, Masato

[6] Kinoshita, Hiroo

来源：

Nii, H. | 1600年 / Japan Society of Applied Physics卷 / 41期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：5338 / 5341