Structure analyses of Ti-based self-formed barrier layers

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作者：

Department of Materials Science and Engineering, Kyoto University, Kyoto 606-8501, Japan ^{[1
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机构：

来源：

Jpn. J. Appl. Phys. | / 4 PART 2卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Dielectric materials - Silica - Titanium dioxide - Crystalline materials - Tin oxides - Indium compounds - Metallic films - Copper alloys - X ray photoelectron spectroscopy - Titanium nitride

引用