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Diagnostic studies of species concentrations in a capacitively coupled RF plasma containing CH4-H2-Ar
被引：35
作者：
机构：
[1] Schulz-Von Der Gathen, V.
[2] Röpcke, J.
[3] Gans, T.
[4] Käning, M.
[5] Lukas, C.
[6] Döbele, H.F.
关键词：
D O I：
10.1088/0963-0252/10/3/318
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
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