Determination de l'etat de contraintes residuelles dans des couches auto-supportees de diamant-CVD par diffraction de rayons X

被引:0
作者
机构
[1] Durand, O.
[2] Olivier, J.
[3] Bisaro, R.
[4] Galtier, P.
[5] Krüger, J.K.
来源
Durand, O. | 2000年 / Editions de Physique, Les Ulis Cedex A卷 / 10期
关键词
D O I
10.1051/jp4:20001019
中图分类号
学科分类号
摘要
31
引用
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