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Determination de l'etat de contraintes residuelles dans des couches auto-supportees de diamant-CVD par diffraction de rayons X
被引:0
作者
:
机构
:
[1]
Durand, O.
[2]
Olivier, J.
[3]
Bisaro, R.
[4]
Galtier, P.
[5]
Krüger, J.K.
来源
:
Durand, O.
|
2000年
/ Editions de Physique, Les Ulis Cedex A卷
/ 10期
关键词
:
D O I
:
10.1051/jp4:20001019
中图分类号
:
学科分类号
:
摘要
:
31
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