New emissive probe measurements of electron temperature in two modes of radio-frequency plasmas

被引：0

作者：

Kusaba, Kouta ^{[1
]}

Shindo, Haruo ^{[1
]}

机构：

[1] Department of Information Telecommunication and Electronics, Tokai University, 1117 Kita-kaname, Hiratsuka, Kanagawa 259-1292, Japan

来源：

Japanese Journal of Applied Physics | 2009年 / 48卷 / 02期

关键词：

D O I：

026001

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Electron energy levels - Probes - Temperature measurement - Radio waves

引用