Preparation and etching of silicon-based piezoelectric thin films for integrated devices

被引：0

作者：

Zhao, Hong-Jin ^{[1
]}

Ren, Tian-Ling ^{[1
]}

Zhang, Lin-Tao ^{[1
]}

Liu, Jian-She ^{[1
]}

Liu, Li-Tian ^{[1
]}

Li, Zhi-Jian ^{[1
]}

机构：

[1] Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China

来源：

关键词：

Integration processes - PZT thin films - Semiconductor lithographic process - ZnO thin films;

D O I：

10.1080/713718312

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：271 / 279