The optoelectronic properties of SiC films deposited by RF magnetron sputtering

被引：0

作者：

School of Physics Science and Technology, Central South University, Changsha 410083, China ^{[1
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机构：

来源：

Gongneng Cailiao | 2007年 / 2卷 / 190-192期

关键词：

15;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

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