Study of potassium oxalate based slurry for Copper/Cobalt CMP

被引：0

作者：

Kumar, Rohan ^{[1
]}

Hazarika, Jenasree ^{[1
]}

Venkatesh Rajaraman, Prasanna ^{[1
]}

机构：

[1] Department of Chemical Engineering, Indian Institute of Technology Guwahati, Assam, Guwahati,781039, India

来源：

Materials Today: Proceedings | 2022年 / 57卷

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用

页码：1913 / 1917