High beam current microcolumns with large apertures

被引：0

作者：

Park, S.S. ^{[1
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Kim, D.W. ^{[1
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Ahn, S.J. ^{[1
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Kim, Y.C. ^{[1
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Choi, S.K. ^{[2
]}

Kim, D.Y. ^{[2
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Kim, H.S. ^{[1
]}

机构：

[1] Department of Advanced Materials and Physic, Center for Next Generation Semiconductor Technology, Sunmoon University, Asan,336-708, Korea, Republic of

[2] ETRI, Doryong, Yuseong, Daejeon,305-340, Korea, Republic of

来源：

Dig. Pap. - Int. Microprocess. Nanotechnol. Conf., MNC | 1600年 / 126-127期

关键词：

Compendex;

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

Nanostructured materials

引用