Device robust-design by using response surface methodology

被引：0

作者：

Xie, Xiaofeng ^{[1
]}

Lu, Yong ^{[1
]}

Zhang, Wenjun ^{[1
]}

Yang, Zhilian ^{[1
]}

机构：

[1] Inst. of Microelectron., Tsinghua Univ., Beijing 100084, China

来源：

| 2002年 / Science Press卷 / 23期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

18

引用

收藏

相关论文

empty

未找到相关数据