未找到相关数据
Monte Carlo simulation of Cu thin film growth by magnetron sputtering
被引：0
作者：
机构：
[1] Liu, Zuli
[2] Zhang, Xuefeng
[3] Yao, Kailun
[4] Huang, Yunmi
来源：
Liu, Z. (zlliu@hust.edu.cn)
|
2005年
/
Science Press卷
/
25期
关键词：
Thin films;
D O I：
暂无
中图分类号：
学科分类号：
摘要：
引用
收藏
相关论文