Self-aligned formation of porous silicon membranes using Si diaphragm structures

被引：0

作者：

Kobayashi, Toshihiro ^{[1
]}

Ohsawa, Jun ^{[1
]}

Nagata, Seiichi ^{[1
]}

Hara, Tamio ^{[1
]}

Yamaguchi, Naohiro ^{[1
]}

Yamaguchi, Masafumi ^{[1
]}

机构：

[1] Toyota Technological Institute, Dept. of Information-Aided Technol., 2-12 Hisakata, Tempaku-ku, Nagoya 468-8511, Japan

来源：

| 1600年 / Japan Society of Applied Physics卷 / 41期

关键词：

D O I：

暂无

中图分类号：

学科分类号：

摘要：

引用